A.CS2分子中C原子形成2个δ键,孤电子对数为0,应为直线形分子,故A错误;B.ClO3-中Cl原子形成3个δ键,孤电子对数为 7+1?3×2 2 =1,应为三角锥形分子,故B错误;C.SF6中S原子最外层电子数为6+6=12,故C错误;D.SiF4分子中C原子形成4个δ键,孤电子对数为0,为sp3杂化,SO32-中S原子形成3个δ键,孤电子对数为 6+2?2×3 2 =1,应为sp3杂化,故D正确.故选D.