气动隔膜泵最初发明是用于二战时期处理制造核武器提炼铀等产生的含强酸废液，美国的威尔顿先生第一次将之用于普通工业，一直延续下来。所以一般认为，气动隔膜泵是由美国的威尔顿公司发明。目前威尔顿已经隶属于PSG集团。
