一种用于在高电压真空装置中检测高气压条件的方法，包括检测例如波纹管或挠性振动膜之类的可移动式结构的位置。高气压位置可以从光学上通过光束的截断或反射，或从电气上通过检测接点闭合或通过应变仪的偏差检测出来。电气检测由微电路提供，该微电路通过射频或光学信号，在高电压装置电势、传输气压信息下运行。
